本发明公开了一种研磨垫调节装置,用于控制钻石研磨盘清理化学研磨机台研磨垫上的杂质,包括附着钻石研磨盘的托盘、轴、支臂和基座,该装置还包括霍尔传感器、永磁体和微处理器;永磁体,内嵌安装于托盘上,用于产生磁通量信号;霍尔传感器,安装于支臂上,与永磁体相对配置,用于在托盘旋转时,接收所述永磁体产生的磁通量信号,将所述磁通量信号转变为电信号;微处理器,用于读取所述电信号,对电信号进行分析处理,获得钻石研磨盘的转速和在垂直方向上的位置信息。采用本发明的装置能够实时监测钻石研磨盘的转速和位置。
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来源：北方有色网
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