微电子机械的V型微阀及制作方法,微型阀的性能对微泵的性能指标有直接影响。本产品包括:正单向阀[1]和与正单向阀反向置放的反单向阀[2],正单向阀和反单向阀全部结构均形成在硅基底上,其中正单向阀[1]包括进水口[3]、进水缝[5]、阀片[7]/[8]以及两个V型槽[11]/[12];反单向阀[2]包括出水口[4]、出水缝[6]、阀片[9]/[10]以及两个V型槽[13]/[14]。本产品用于药物微量传送、燃料微量喷射、喷墨打印、微量化学分析领域,特别适用于大功率元件和超大集成电路冷却,在未来微量流体控制系统中,可用于化学气相淀积,分子束外延过程中气体的精确控制;低温学或超导体的冷却;气、液体的微量化学分析。
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来源：北方有色网
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