利用光束偏振状态变化监视固体表面的等离子体反应(在刻蚀或淀积期间)。在等离子体处理期间衬底的物理参数将发生变化。所监视的光束表征了衬底表面组分的变化和与等离子体处理相关的组分变化。表面反射的光束通过采用椭偏仪测量术但是采用新计算方法的系统分析。光偏振状态的周期被用作参照点以实时监视表面情况。本发明还可以用于表面的定量和定性化学分析。
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来源：北方有色网
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