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含氧的n-型β-硅化铁(FeSi2)及其制造方法

798   编辑：管理员   来源：北方有色网  
2023-03-19 07:31:45
含氧的n-型beta-FeSi2纳米线是经由化学气相沉积法(Chemical？Vapor？Deposition)来合成。在650℃～950℃的温度范围间，经由载流气体(carrier？gas)将前驱物FeCl3运送到硅基板处反应生成n-型β相的FeSi2，β-FeSi2的结构可以经由XRD和TEM的分析交互比对来获得证实，且其结构的形貌也可经由SEM直接观测。综合以上分析，在650℃～950℃的温度之间找到一个稳定的方法来合成n-型β-FeSi2纳米线。
声明：
“含氧的n-型β-硅化铁(FeSi2)及其制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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