一种用于测定试样中元素含量、化学态及元素含量在样品中的分布的位置灵敏X射线谱仪,由X光源、样品、平面晶体、位置灵敏探测器及相应电子学系统和计算机多道分析系统等组成。在X光源和样品之间加有一整体会聚X光透镜,在样品和平面晶体之间加有一一维平行X光聚束系统。本发明的分析灵敏度高、探测极限低、功率密度大、能量分辨率高,可作全元素含量分析、元素存在的化学态及微区分布分析,且结构简单、造价低。
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来源：北方有色网
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