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扫描电镜原位物化反应样品台

1188   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 07:31:06
本实用新型属于样品检测领域,具体涉及一种扫描电镜原位物化反应样品台,包括样品台本体以及设置在所述的样品台本体内的用于放置样品的导热隔层;所述的导热隔层将所述的样品台本体分割成气体腔室以及控温腔室;所述的气体腔室内设置有气体入口以及气体出口;所述的控温腔室内设置有加热管路以及冷却管路;所述的加热管路的两端分别与热媒入口以及热媒出口连接;所述的冷却管路的两端分别与冷媒入口以及冷媒出口连接。本申请的扫描电镜原位物化反应样品台通过转换样品室的气体种类、调节冷热媒的温度,能够实现一个样品台中样品不同温度不同化学氛下微观结构形貌的观察及成分分析。
声明:
“扫描电镜原位物化反应样品台” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
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