描述了一种用于实时感测工业制造设备中的特性的装置和方法。该感测系统包括：第一多个传感器，该第一多个传感器被安装在半导体器件制造系统的加工环境内，其中，每个传感器被分配给不同的区域，以监测该制造系统的所分配的区域的物理或化学特性；以及读取器系统，该读取器系统具有被配置成同时并以无线的方式询问该多个传感器的部件。该读取器系统使用单一高频询问序列，该单一高频询问序列包括：(1)向该第一多个传感器发送第一请求脉冲信号，该第一请求脉冲信号与第一频带相关联，以及(2)接收来自该第一多个传感器的唯一可识别的传感器响应信号，该第一多个传感器提供对该系统的每个所分配的区域的物理或化学特性的变化的实时监测。
声明：
“对制造设备中的特性的降低干扰的实时感测” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
1064
编辑：管理员
来源：北方有色网
咨询细节
