本发明属于显微成像及光谱测量技术领域，将共焦显微技术与光谱探测技术相结合，涉及一种“图谱合一”的高分辨光谱成像与探测方法及装置，可用于各类样品的三维形貌重构及微区形态性能参数测量。该方法与装置利用传统共焦拉曼系统遗弃的瑞利光采用共焦技术对样品进行位置探测，光谱探测系统进行光谱探测，利用传统共焦拉曼光谱探测技术遗弃的布里渊散射光对材料的弹性和压电等性质进行测试，从而实现样品微区高空间分形态参数测量。本发明具有定位准确，高空间分辨力，光谱探测灵敏度高和测量聚焦光斑尺寸可控等优点，在生物医学、法庭取证、微纳制造、材料工程、工程物理、精密计量、物理化学等领域有广泛的应用前景。
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来源：北方有色网
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