一种实时观测纳米颗粒运动的实验台,由定位系统、运动加载系统、观测系统和计算机四部分组成。定位系统可实现低精度的水平定位和高精度的垂直定位。运动加载系统可令抛光垫以设定的速度相对于固定的玻璃片旋转,并使抛光垫与玻璃片接触挤压,通过压力传感器测得压力,压力的大小由电控平移台控制。观测系统可以实时标记和追踪单个纳米颗粒的位置和运动。本发明可模拟实际化学机械抛光工况,确定纳米颗粒的运动规律,为深入理解化学机械抛光中颗粒的作用提供直接证据,具有灵敏度高、测量精度高、稳定性高的特点。
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来源：北方有色网
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