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基于紫外线吸收的监测器和对氯化物气流的控制

1125   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 07:25:18
本发明提供一种半导体生长系统,所述半导体生长系统包括室和电磁辐射源。设置检测器以检测由所述反应室的氯化物类化学物质对来自所述源的辐射的吸收。控制系统响应于所述氯化物类化学物质对辐射的吸收来控制对所述室的操作。所述控制系统通过调节所述反应室的参数来控制所述室的操作。
声明:
“基于紫外线吸收的监测器和对氯化物气流的控制” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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