本实用新型实施例公开了一种光检波微纳真空三极管，包括：微型热阳极板、微型热阴极板、栅极材料层和导电薄膜，所述微型热阴极板和微型热阳极板之间刻蚀有导电薄膜，所述导电薄膜上部通过化学气相沉积有真空沟道，所述真空沟道的上部覆盖有氧化物混合材料，所述微型热阴极板和微型热阳极板均包含一对由Au/Cr组成的金属电极，所述金属电极之间电性连接有
石墨烯材料板，所述石墨烯材料板的下部刻蚀有二氧化硅材料层，采用纳米缝隙真空沟道实现电子的传输，兼具了真空管和半导体晶体管的优点，栅极具有调制作用，优化了器件特性，具有工作电压低、响应时间短、发射电流可大幅度调制、可控性好等特点。
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来源：北方有色网
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