纳米级高分辨应力测量方法,涉及一种应力测量方法,提供一种基于俄歇电子能谱仪,以电子作为测量的激发源,可获得高空间分辨的应力分布值的微区应力测量方法。其步骤为确定元素分析和零应力点,用俄歇能谱确定样品的化学元素成分和比例,并以样品的1个本质元素选择一个零应力点搜取其标准谱,作为应力零点标定;利用搜取的零应力点标准谱确定拟合参数得优化拟合理论俄歇谱;建立应力标定曲线后,根据确立的俄歇移动和应力的标定曲线得微区应力值。灵活性强,可根据样品需要建立特殊的模型进行计算,也可建立所有化合物元素的应力变化标定曲线的数据库。得到的空间分辨率和采用的俄歇电子能谱仪一致,可达到纳米量级。
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来源：北方有色网
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