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激光直接成像设备成像位置误差的检测方法

1252   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 07:17:27
本发明提供一种激光直接成像设备成像位置误差的检测方法,将拼接误差检测图形输入激光直接成像设备,通过空间光调制器成像在覆有感光干膜的基板上,通过激光直接成像设备自带的CCD图像处理系统分别抓取图形拼接位置两边的圆心坐标,计算两边坐标在X,Y方向的误差,此误差即为拼接误差,此方法省去了化学显影和显微镜测量步骤,极大的提高了检测效率和准确性。
声明:
“激光直接成像设备成像位置误差的检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
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