本申请公开了一种压阻式自检测自激励SECM探针，涉及扫描
电化学显微镜领域，包括主体支撑结构；与主体支撑结构集成的悬臂梁；设于悬臂梁表面的针尖；覆盖于针尖的金属层，用于连接输入端，并通过输入端输入的电压或电流产生电热作用，使悬臂梁发生形变，以使悬臂梁向待测样品施加作用力；设于主体支撑结构上表面的惠斯通电桥，用于当悬臂梁向待测样品施加作用力时，输出与作用力对应的检测信号。本申请针尖上的金属层在电热作用下使悬臂梁产生弯曲形变，从而向待测样品施加作用力，实现自激励；当悬臂梁产生弯曲形变，惠斯通电桥中可变电阻的阻值发生变化，输出检测信号，实现压阻自检测，不需设置四象限探测器和激光器，简化结构和操作难度。
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编辑：管理员
来源：北方有色网
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