本发明提供了一种检测金属离子含量的方法，所述方法包括以下步骤：S1、在晶圆需要检测金属离子含量的位置输入能够与晶圆的衬底发生化学反应的第一物质，其中，所述第一物质与所述衬底发生化学反应生成第二物质，所述第二物质从所述衬底的表面渗入所述衬底的内部；S2、检测所述第二物质中所包含的金属离子含量。由于所述第二物质容纳了晶圆的衬底表面所有的金属离子及衬底内部大部分的金属离子，检测出的金属离子含量不仅包括衬底表面的金属离子含量，而且包括渗入衬底内部的大部分金属离子含量，从而提高了金属离子含量检测的准确性。
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来源：北方有色网
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