本发明涉及一种气相沉积设备。本发明一种制备
石墨烯、六角氮化硼等薄膜材料的化学气相沉积装置，所述装置包括两个独立的真空腔体——主腔体（1）和副腔体（2）、加热装置（3）、测温装置、供气装置、抽气装置、冷凝装置、传动装置（4）、插板阀（5）及硼氮蒸发源（6）。其中主腔体（1）用于薄膜材料的制备，副腔体（2）用于硼氮源的洗气。本发明采用不锈钢腔壁，使用分子泵+机械泵的抽气装置，本底真空可达到10-8mbar，充分减少杂质气体分子对生长过程造成的影响。采用内加热方式，不仅能降低能耗，而且能形成温度更均匀的恒温区，而温度测量采用直接测量样品或者充分靠近样品，从而得到更准确的温度参数。设计内加热装置的移动降温功能，实现快速降温，有效减少降温过程中碳原子的析出。
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来源：北方有色网
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