本发明公开了一种氧化
锌紫外探测焦平面成像阵列制作中
氧化锌材料的化学刻蚀方法,该方法首先制作氧化锌材料的掩模,然后通过氯化铵水溶液进行刻蚀,其中为了改善刻蚀效果还可以对刻蚀液进行水浴加热。上述刻蚀方法中,由于采用氯化铵溶液作为刻蚀剂,因此它具有以下优点:(1)刻蚀表面平整度高;(2)刻蚀的选择性非常好(对光刻胶没有腐蚀性);(3)可以达到非常好的纵横比要求;(4)对要刻蚀的样品没有任何杂质离子的污染,对器件的性能没有影响;(5)并且只需改变氯化铵溶液的浓度,就可以在保证刻蚀表面平整和比较好的纵横比的前提下,得到不同的刻蚀速率,操作非常简单;(6)可以通过控制刻蚀时间来控制刻蚀深度。
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“氧化锌紫外焦平面成像阵列制作工艺中的化学刻蚀方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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