本实用新型涉及半导体制造技术领域，具体地说是一种化学品供应系统，包括供应柜部分和管路部分，所述供应柜部分通过管路部分连接化学品用户端，所述供应柜部分包括桶槽（1）、泵（2）和过滤器（3），所述管路部分包括管路（4）和阀箱（5），所述桶槽（1）、泵（2）、过滤器（3）、阀箱（5）通过管路（4）相连；本实用新型同现有技术相比，不仅结构新颖、简单，运行稳定、可靠，操作起来也非常方便，而且由于在该化学品供应系统中设有监控部分，并在该监控部分中设置了泄漏侦测器，从而可以尽快地发现问题并及时地解决问题,给现场操作人员的生命安全带来了保障，最终最大限度地保证了现场人员的人身安全，其安全系统非常高。
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来源：北方有色网
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