本实用新型公开了一种化学研磨液氮压的供应装置，具体涉及半导体制造领域。该装置主要包括骨架、操控面板、排气装置、化学研磨液混合供应装置、液泵、研磨液氮压储存容器、压力监测表。骨架是由不锈钢方钢和聚苯烯的板材焊接及机械连接而成；排气装置是用于释放研磨液氮压储存容器的压力，起到稳压的作用；化学研磨液混合供应装置是用于生产现场研磨液配比及临时储存；液泵用于输送储存在化学研磨液混合供应装置的研磨液。本实用新型提供了一种通过压缩氮气产生动力的输送装置，解决了半导体加工时研磨液的供应流量输出不稳定的问题，使研磨液的供应变平稳、设备故障率低、维护简单。
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来源：北方有色网
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