一种开放式、阵列化、集成化的
电化学气体传感器及其制造方法，涉及一种电化学气体传感器，为了解决电化学气体传感器的灵敏度低、选择性差、难以形成阵列化和集成化的问题。本发明的传感器包括上电极层、电解池层、下电极层和引出层，依次对位叠层，上电极层的催化电极半封闭式覆盖第一电解池通孔，电解池层的基片上设有第二电解池通孔；第一电解池通孔和第二电解池通孔相通，形成电解池腔，下电极层的基片上设有对电极；对电极位于电解池腔正下方，引出层的基片上设有多个引出端。本发明的传感器适用于同时探测多种目标气体浓度。
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来源：北方有色网
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