本发明的课题是提供一种可赋予面内均匀性优异的被研磨体的研磨液。并且，提供一种使用上述研磨液的化学机械研磨方法。本发明的研磨液是使用于化学机械研磨中的研磨液，其含有研磨粒、有机酸及水溶性高分子，且同时满足下述式(1)～式(3)。式(1)：1.5≤η
100rpm/η
1000rpm≤20；式(2)：1.2≤η
100rpm/η
500rpm≤10；式(3)：η
100rpm/η
1000rpm＞η
100rpm/η
500rpm，在式(1)～式(3)中，η
100rpm是在40％RH、23℃下通过旋转粘度计以转速100rpm测定的上述研磨液的粘度，η
500rpm是在40％RH、23℃下通过旋转粘度计以转速500rpm测定的上述研磨液的粘度，η
1000rpm是在40％RH、23℃下通过旋转粘度计以转速1000rpm测定的上述研磨液的粘度。
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来源：北方有色网
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