本实用新型公开了一种制备硒化
锌的化学气相沉积系统中的尾气处理装置，包括依次连接的一级逆流吸收系统、二级逆流吸收系统、活性炭吸附装置、风机和硒化氢
检测仪，一级逆流吸收系统包括筛板式喷淋塔和一级碱液池，二级逆流吸收系统包括柱式喷淋塔和二级碱液池；一级碱液池和二级碱液池内均设置有过滤网，一级碱液池与筛板式喷淋塔的喷淋端和出液端连接形成液体循环通道，筛板式喷淋塔与尾气管道连接，筛板式喷淋塔的出气端与柱式喷淋塔的进气端连接，二级碱液池与柱式喷淋塔的喷淋端和出液端连接形成液体循环通道，柱式喷淋塔的出气端与活性炭吸附装置连接。本实用新型吸收效果好、吸收量大、处理过程安全、稳定可靠。
声明：
“制备硒化锌的化学气相沉积系统中的尾气处理装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
1169
编辑：管理员
来源：北方有色网
咨询细节
