本实用新型提供一种应用于化学机械研磨的液体输送系统和包括液体输送系统的化学机械研磨装置,其中所述液体输送系统包括:输送管;用于控制输送管通断的控制开关和分配器,所述分配器位于所述输送管的其中一个末端,具有与所述输送管相通的一个或多个喷嘴;以及与所述输送管相连的流量控制器,用于检测并提供研磨溶液的流量信息。相较于现有技术,本实用新型能够对输送的研磨溶液的流量进行管控,避免出现因流量过高或过低而影响待研磨晶片在化学机械研磨中的去除率的问题,从而制作出符合要求的合格产品,提高产品的良率。
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来源：北方有色网
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