本发明公开了一种
电化学微流
芯片，包括设置在基底上的金属Cr层，所述金属Cr层上设置有金属Au层，所述金属Au层上设置有作为工作电极的金属Bi层和作为辅助电极的电极Ag或AgCl层，所述基底上设置有上盖，上盖与基底之间的空隙为微流道。本发明以MEMS微细加工技术制备基于电化学溶出法的便携式水体离子在线
检测仪芯片，而只需使用普通紫外光源，借助光刻胶优异的高精度结构成型能力，使用普通的掩模版，就可完成电化学微流芯片单元的制备。本发明工艺简单、成本低，而且易于批量化生产。
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“电化学微流芯片及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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