本实用新型公开了一种晶圆装载装置和化学机械抛光系统，所述晶圆装载装置包括：底座；托架，位于底座上方并能够竖向移动以装载和/或卸载晶圆；检测单元，设置于所述托架的外周侧，其包括摆动组件和检测件，所述摆动组件从所述托架的边缘向托架的中心延伸，所述摆动组件随着其上是否装载晶圆处于不同位置，所述检测件用于检测摆动组件的位置。
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来源：北方有色网
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