本发明提出一种化学机械抛光传输机器人的非线性模糊结合递归控制系统，包括：上位机控制器、主控制器、运动控制器、检测器、多个伺服驱动器、多个电机和编码器，检测器用于检测传输机器人的工作状态参数以生成检测信息；上位机控制器用于接收操作指令；编码器用于检测传输机器人的当前运动位移和当前运动角度；主控制器用于生成传输机器人的运动指令；运动控制器用于在传输机器人启动时以模糊控制模式计算初始电机控制量并在传输机器人平稳运行后以递归LQ优化控制模式计算电机控制量；每个伺服驱动器用于根据初始电机控制量或电机控制量计算相应电机的控制转矩；多个电机，每个电机用于在相应的控制转矩的控制下驱动传输机器人运动。
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来源：北方有色网
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