本实用新型公开一种半导体清洗设备化学药液加热器，包括由内层管和外层管组成的加热管，安装在内层管中的加热丝，用于密封加热管的密封塞，以及穿过密封塞与加热丝相连的电源线，还包括控制器电源、控制器、报警器以及用于检测加热管是否破裂的传感器，所述报警器、传感器、控制器电源均与控制器相连。本实用新型能够实时监测加热管是否破损，从而及时将加热管从化学药液池中取出，进而保护化学药液和清洗设备。
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来源：北方有色网
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