本发明属于检测型传感器领域，具体为一种具有检测功能的MEMS传感器及检测系统，MEMS传感器为包含多个传感器单元的传感器阵列，每个传感器单元表面涂覆化学或生物分子等生化材料形成具有检测待检测物质的敏感膜层，敏感膜层可以特异性结合待检测物质，当其与待检测物质结合时会产生颜色变化，后续通过成像来观察该变化，实现对待检测物质的实时快速、无标记检测，具有良好的应用前景。
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“具有检测功能的MEMS传感器及检测系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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