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等离子体化学气相沉积设备

1198   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 06:57:47
本发明公开了一种等离子体化学气相沉积设备,通过在等离子体化学气相沉积设备中添加等离子体探针、气相检测系统和控制及反馈系统来实时检测并调控真空腔室内的气体组分和等离子体密度,以达到提高成膜质量和提高成膜速率的效果。
声明:
“等离子体化学气相沉积设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
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