为克服现有技术中常压化学气相沉积装置在运行过程中，只能在化学气相沉积结束后检查晶圆才能察觉到异常，不能及时发觉异常，也无法及时采取保护措施的问题，本实用新型提供了一种常压化学气相沉积装置，其包括一报警保护模块，所述报警保护模块包括可编程控制器、信号检测单元、报警单元；所述信号检测单元连接与所述可编程控制器的输入接口相连；所述报警单元与可编程控制器的输出接口连接。本实用新型实施例提供的常压化学气相沉积装置，由于在其上集成了报警保护模块，可以检测气体喷嘴的喷气状态及沉积尾气排放口的排气状态。当出现异常时，可编程控制器可及时通过报警单元进行警示，提醒操作人员及时采取措施。
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来源：北方有色网
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