本发明提供了一种可提高检测精准度的抛光终点检测方法,用于检测氧化物的化学机械抛光工艺的抛光终点。现有技术在进行氧化物的抛光终点检测时并未对所检测到波峰的扭矩进行检测而判定其为抛光终点,易在抛光速度过慢时出现抛光终点的误检测现象。本发明不仅在进行一预设时段的抛光后再进行抛光终点检测,还判断所检测到波峰对应的扭矩是否在正常终止扭矩范围,且在是时才判定所检测到波峰为抛光终点。采用本发明可避免在抛光速度过慢时出现的抛光终点误检测事件发生,如此可大大提高抛光终点检测的精准度和可靠性,进而大大提高氧化物化学机械抛光工艺的抛光质量。
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来源：北方有色网
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