本发明涉及化学气相沉积技术领域，提供了一种飞秒激光预解离装置，包括飞秒激光解离模块以及高里德堡原子检测模块，所述飞秒激光解离模块与所述高里德堡原子检测模块通过第一管道连通，所述第一管道安设有阀门。还提供一种化学气相沉积设备，包括反应气体供给源、反应腔以及上述的一种飞秒激光预解离装置。本发明通过飞秒激光解离模块预先将反应气体催化解离，使之在进入反应腔前就解离为CH2或CH，可极大提高生产效率且减少对空气的污染，同时通过高里德堡原子检测模块分析H2、CH3、CH2或CH等气体的成分，并将其反馈至飞秒激光解离模块，供飞秒激光解离模块实时调整优化功率密度和时域分布，可更好地控制催化反应的进程。
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来源：北方有色网
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