本实用新型公开了一种能在制程中在线将液体中的化学污染物微粒含量监测出来的在线实时湿加工化学污染物监测装置。该监测装置设置在监测器(8)内,包括:一发出入射光束(31)的发光部(2);一设置于发光部(2)之入射光束(31)路径上并反射后形成反射光束(32)的反射部(4);一内有流体(6)流动且设置于前述反射光束之路径上被反射光束照射的透明管(5),前述反射光束(32)在透明管(5)上造成交汇处(62);及一设置于前述交汇处(62)侧端且用于收集交汇处(62)所散射出散射光束(33)的监测部(7)。
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来源：北方有色网
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