本发明属于化学机械研磨设备技术领域，具体的说是化学机械研磨设备防碰撞侦测系统，包括支撑单元和打磨单元；支撑单元包括转轴、转盘和研磨垫；支撑单元的一侧打磨单元；打磨单元包括转动杆、横杆、电机和研磨头；电机与研磨头之间设有圆柱形状的基板；基板的下端面与研磨头的上端面之间留有间隙，基板的外圈上设有距离传感器；在研磨头一旁安置距离传感器，实时检测研磨垫用调节器与研磨头之间的距离，一旦距离传感器检测距离小于用户设置的安全距离时，危险距离信息传到操控电脑上，操控电脑将信号反馈给研磨垫用调节器的驱动器，电机停止工作，报警并对检修和清理研磨垫上的金属碎屑。
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“化学机械研磨设备防碰撞侦测系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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