本发明是有关于一种电镀
铜加速剂分析方法及其沉积
电解液。该电镀铜加速剂分析方法,包括进行选择性吸附步骤及
电化学还原沉积步骤。首先,将黄金电极放入含有有机添加剂的电镀液中,并将此黄金电极浸置于此电镀液中一段时间以进行选择性吸附,使黄金电极吸附含硫的加速剂。之后,以超纯水冲洗此已吸附含硫化合物的黄金电极,再将此黄金电极放入含有聚乙二醇及氯离子的沉积电解液中,并进行阴极循环伏安扫瞄以便沉积铜金属,最后将所得的极化曲线进行积分并制作检量线。该沉积电解液包含:一铜离子;一酸;一聚二醇类化合物;以及一卤素离子。
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来源：北方有色网
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