本实用新型公开了一种基于化学气相沉积设备监测用测漏仪，包括仪器主体、数据连接座和金属连接管，仪器主体的顶端设置有数据连接座，仪器主体的两侧均设置有防滑结构，数据连接座的内部安装有金属连接管，金属连接管的一端固定连接有气体检测头。本实用新型通过设置有紧固结构，当金属连接管的另一端插入数据连接座的内部后，将紧固抱箍套在限位槽的外侧随后拧紧紧固抱箍，由于数据连接座被分割槽所分割在紧固抱箍拧紧后数据连接座逐渐合拢，并使数据连接座对插入的金属连接管进行挤压与夹持，进而使金属连接管的另一端在插入数据连接座的内部不易出现脱落或松动现象，实现了对金属连接管的连接加固。
声明：
“基于化学气相沉积设备监测用测漏仪” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
1135
编辑：管理员
来源：北方有色网
咨询细节
