提供一种化学机械抛光垫，其含有具有抛光表面的抛光层；和端点检测窗；其中所述端点检测窗包含包括以下的成分的反应产物：具有5.5到9.5重量％的未反应的NCO基团的异氰酸酯封端的氨基甲酸酯预聚物，其中所述异氰酸酯封端的氨基甲酸酯预聚物是包含以下的成分的反应产物：芳香族多官能异氰酸酯；和预聚物多元醇；和固化剂系统，其包含：0到90重量％的双官能固化剂；和10到100重量％的胺起始的多元醇固化剂，其每分子具有至少一个氮原子并且每分子具有平均至少三个羟基。还提供制造和使用所述化学机械抛光垫的方法。
声明：
“具有端点检测窗的化学机械抛光垫” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
766
编辑：管理员
来源：北方有色网
咨询细节
