本发明提出一种用于生物医学
电化学检测的三维微电极结构及其制作方法。利用微加工技术,在衬底表面制作牺牲层和具有一定内应力的双层金属结构,通过去除牺牲层,将制作于衬底表面的微电极金属释放,使其通过本身的内应力作用产生背离衬底表面的翘曲,从而形成一种三维立体微电极结构。该三维微电极与将流体有更好的接触,且在相同的电极尺寸下增大了微电极与流体的有效接触面积。
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“用于生物医学电化学检测的三维微电极及其制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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