本发明提出了一种化学机械平坦化终点检测方法及装置，方法包括以下步骤：根据设定的平坦化工艺参数将平坦化材料在第一抛光台上进行平坦化，将采集到的反射光信号进行数据图形化处理得到第一表面图形及第二表面图形；在所述第一表面图形符合第一特征图形的情况下，根据第一特征图形在相应的区域内对所述平坦化材料施加背压力进行平坦化；在第二表面图形符合第三特征图形的情况下，根据第三特征图形在相应的区域内对平坦化材料施加背压力进行平坦化。本发明提高了平坦化材料的全局平坦化效果，保证了平坦化材料平坦化的加工质量，提高化学机械平坦化设备的一次加工合格率，大大降低了化学机械平坦化终点检测工艺开发的成本。
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来源：北方有色网
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