本发明公开了一种基于无线传输的化学机械抛光界面温度检测控制系统。本发明的技术方案要点为：基于无线传输的化学机械抛光界面温度检测控制系统，采用热电偶温度传感器对化学机械抛光过程中基片的温度进行监测，采用目前主流的ARMSTM32F103系列微处理器进行处理，并通过NRF905和GSM无线模块将温度数据传送至计算机以及手机进而实现对温度的显示和调控。本发明采用的GSM无线收发模块和微处理器均可持续、稳定24小时不间断长年可靠地运行，采用STM32F103系列微处理器，控制精度高，反应速度快，控制较灵活。
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来源：北方有色网
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