本发明提供一种检测钨塞化学机械抛光工艺的测试结构,其中,该测试结构包括多个模块,其上分布有钨塞,钨塞大小相同,每个模块上钨塞分布的密集度不同。所述结构中每个模块的面积相等,钨塞之间的间隔依次增大,每个模块上的钨塞个数依次减少,每个模块上钨塞密度不同。将钨塞划分为钨塞组,通过改变钨塞组的分布改变每个模块钨塞的分布密集度,每个模块上钨塞组分布的密集度不同。与现有技术相比,本发明提供的测试结构可以更清晰地看到侵蚀、边缘过侵蚀与钨塞密度、面积大小的关系,并且同时提供了对凹陷、钨清除能力的检测。
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来源：北方有色网
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