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用于电化学检测装置的微孔的化学涂层

789   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 06:35:58
本发明所描述的实施方案可以提供制造化学检测装置的方法。该方法可以包括在CMOS装置上形成微孔。微孔可以包括底表面和侧壁。所述的方法可以进一步包括:施加第一化学品,使其选择性地附着在微孔的底表面上;在微孔的侧壁上形成金属氧化物层;以及施加第二化学品,使其选择性地附着在微孔的侧壁上。所述的第二化学品对所述的第一化学品缺乏亲和性。
声明:
“用于电化学检测装置的微孔的化学涂层” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
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