本发明涉及一种用于化学分析的毛细管电泳
芯片的制备方法,首先在第一玻璃片上打孔,然后在第二玻璃片上镀Cr膜,甩涂光刻胶,用刻有微管道图形的模板作为掩膜版,对光刻胶曝光并显影,露出该处的Cr膜层,再刻蚀,形成微管道图形,最后用腐蚀液在第二玻璃片上刻蚀出微管道网络,使上、下玻璃片的通孔、端部相对准,在高温度下使两片玻璃键合。本发明的方法,制造成本低,易于大批量生产,工艺流程的简单,提高了制造成品率。
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“用于化学分析的毛细管电泳芯片的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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