本实用新型公开了一种有机物化学分析采气混和盘面，属于半导体与面板制造技术领域，包括底座，所述底座的顶部设有多组流量控制器，且多组所述流量控制器的底部均通过安装组件固定安装于底座的顶部，所述底座的顶部且位于流量控制器的两侧分别设有进气气控阀和排气气控阀；本实用新型通过紧凑集成SEMI标准化的气控阀、流量控制器等部件，构建气体供气线，根据需要的流程进行最佳布局实现可高速置换标准气体、惰性气体、样品气体的理想流路，在实现化学气体不同浓度的配置与采集分析样品的稀释浓度调整的同时大幅缩小组件的体积，方便于维护与保养，与以往使用的系统相比更加集成化大幅节省了空间。
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来源：北方有色网
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