本发明公开了半导体制造技术以及
纳米材料应用技术领域中的一种热分析型化学及气体探测传感器,用于解决
碳纳米管单独作为传感器应用存在的缺陷。包括半导体衬底、悬空结构、加热元件、测温元件、绝缘层和用于生长碳纳米管薄膜的催化剂层;悬空结构的两端固定在半导体衬底上,并且悬空结构的下表面与半导体衬底不接触;悬空结构的上表面布设加热元件和测温元件;加热元件和测温元件上表面布设绝缘层;催化剂层覆盖整个悬空结构和绝缘层。本发明采用直接生长的方式,将较高热导率和热稳定性的碳纳米管薄膜集成在悬空结构上,可以满足热分析传感器对于高吸附能力材料的要求,提高热分析型传感器的性能。
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来源：北方有色网
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