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一种微元件的转移装置及转移方法

1178   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 06:31:24
本申请公开了一种微元件的转移装置及转移方法,所述转移装置包括:转移基板,所述转移基板包括自所述转移基板的至少一表面凸起的多个探针;控制电路,与多个所述探针连接,用于控制多个所述探针进行作业,多个所述探针独立吸附或者释放选定的微元件。通过上述方式,本申请能够在批量转移过程中实现对每一颗微元件进行单独操作。
声明:
“一种微元件的转移装置及转移方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
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