本发明涉及一种低辐射镀膜玻璃的光学参数检测方法，该低辐射镀膜玻璃为SnO2:F/SiCxOy，0＜x＜1，1＜y＜4，属于镀膜玻璃检测领域。该方法是在获得SnO2:F/SiCxOy节能镀膜玻璃椭圆偏振光谱的基础之上，引入五层膜层结构以及光学色散方程，通过迭代来回归实测椭偏光谱，最终获得SnO2:F/SiCxOy镀膜玻璃的膜层结构及其每一层的光学参数，利用该方法实现镀膜玻璃光学性能的在线实时监控。本发明仅采用光学测试手段来获得准确的膜层结构及光学参数，对样品无损伤、测量耗时少、测试方法简便，对被测样品表面无特殊要求，十分适合于SnO2:F/SiCxOy节能镀膜玻璃的性能检测。
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来源：北方有色网
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