本发明公开了一种微型面发射光电
芯片阵列光电性能巨量检测系统及其方法，该系统包括转移驱动装置、转移头、衬底放置台、检测电路基板、芯片放置台、光学探测器，衬底放置台、检测电路基板、芯片放置台依次排列于所述转移驱动装置的同一侧，转移头固定安装于转移驱动装置上，光学探测器位于检测电路基板的正下方。该方法包括以下步骤：S1放置芯片阵列；S2负压吸附芯片；S3芯片检测就位；S4光电性能检测；S5芯片转移释放；S6循环拾取及检测。本发明可实现微型面发射光
电芯片组在巨量转移过程中同时实现光电性能的巨量同步检测，检测效率高，适用于微型面发射光电芯片，如微型LED芯片或小型LED芯片的光电性能巨量检测。
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“一种微型面发射光电芯片阵列光电性能巨量检测系统及其方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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来源：北方有色网
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