本发明公开了一种以无机盐为前驱物LPCVD技术制备透明导电氧化物薄膜玻璃的方法,包括玻璃清洗、光学检测、镀膜、性能检测、成品制成5个步骤,其镀膜方式为:将制备透明导电氧化物薄膜的金属无机盐前驱物配制成澄清饱和水溶液,利用鼓泡器和载气N2将其溶液载入到LPCVD镀膜室中,控制无机盐前驱物与N2的流量比、镀膜室中的压力、镀膜室温度及玻璃基底温度,在玻璃基底上沉积生成透明导电氧化物薄膜。本发明以金属无机盐代替有机前驱物制备透明导电氧化物薄膜玻璃,避免了有机物对膜层的污染,保证了镀膜玻璃的优异性能,易于产业化,为透明导电氧化物薄膜玻璃的发展提供了一种新思路。
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来源：北方有色网
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