本申请涉及一种用于高真空冷阴极电离规的性能检测装置，包括真空室、
真空泵、真空计和电离规，所述真空室的内腔通过连接管与所述电离规连接，所述电离规靠近所述真空室的一端设有连接块，所述连接管远离所述真空室的一端设有供所述连接块插入的连接槽，所述连接槽的槽壁上设有固定槽，所述固定槽内设有固定块，所述固定块可以在所述固定槽内滑移，所述连接管上设有驱动组件，所述驱动组件用于驱动所述固定块与所述连接块抵接。本申请具有方便安装电离规的效果。
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“一种用于高真空冷阴极电离规的性能检测装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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编辑：管理员
来源：北方有色网
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